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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心臺階儀D-300 D500Alpha-Step臺階儀

Alpha-Step臺階儀

產(chǎn)品簡介

Alpha-Step D-300/500 探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D 測量。Alpha-Step臺階儀光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。
探針測量技術(shù)的優(yōu)點是它是直接測量,與材料特性無關(guān)。可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進行測量。通過測量粗糙度和應(yīng)力,可對工藝進行量化,確定添加或去除的材料量,以及結(jié)構(gòu)的任何變化。

產(chǎn)品型號:D-300 D500
更新時間:2024-06-17
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:2869

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產(chǎn)品分類
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產(chǎn)地類別進口應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,化工,電子,航天,綜合

一. Alpha-Step臺階儀設(shè)備特點

  • 臺階高度:幾納米至1000μm(D500 至1200μm)

  • 低觸力:0.03至15mg

  • 視頻:500萬像素率彩色攝像頭

  • 梯形失真校正:消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真

  • 圓弧校正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差

  • 緊湊尺寸:小占地面積的臺式探針式輪廓儀


   主要應(yīng)用

  • 臺階高度:2D臺階高度

  • 紋理:2D粗糙度和波紋度

  • 形式:2D翹曲和形狀

  • 應(yīng)力:2D薄膜應(yīng)力

   應(yīng)用領(lǐng)域


    大學(xué),研究實驗室和研究所

  • 半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體

  • SIMS:二次離子質(zhì)譜

  • LED:發(fā)光二極管

  • 太陽能

  • MEMS:微電子機械系統(tǒng)

  • 汽車

  • 醫(yī)療設(shè)備

二. Alpha-Step臺階儀應(yīng)用案例

臺階高度

  Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀能夠測量從幾個納米到1000μm的2D臺階高度(D-500則是幾納米到1200微米)。 這使其可以量化在蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP 和其他工藝期間沉積或去除的材料。 Alpha-Step系列具有低觸力功能,可以測量如光刻膠的軟性材料。

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紋理:粗糙度和波紋度

  Alpha-Step D-300/500 測量 2D 紋理,量化樣品的粗糙度和波紋度。 軟件過濾功能將測量值分離為粗糙度和波紋度的部分,并計算諸如均方根(RMS)粗糙度之類的參數(shù)。

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外形:翹曲和形狀

   Alpha-Step D-300/500可以測量表面的2D形狀或翹曲。 這包括對晶圓翹曲的測量,例如在半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中,多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配是導(dǎo)致這類翹曲產(chǎn)生的原因。Alpha-Step還可以量化包括透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。

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應(yīng)力:2D薄膜應(yīng)力

  Alpha-Step D-300/500能夠測量在生產(chǎn)包含多個工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件期間所產(chǎn)生的應(yīng)力。 使用應(yīng)力卡盤將樣品支撐在中性位置精確測量樣品翹曲。 然后通過應(yīng)用Stoney方程,利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計算應(yīng)力。

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