高精度臺(tái)式納米壓痕儀主要功能：

靜態(tài)/動(dòng)態(tài)納米壓痕：楊氏模量/硬度

連續(xù)剛度：高準(zhǔn)度薄膜測(cè)試，楊氏模量/硬度，<100nm

DMA功能：橡膠等粘彈性材料存儲(chǔ)模量/損耗系數(shù)

劃痕測(cè)試

高溫納米壓痕300℃

斷裂韌性測(cè)試

橫向加載，泊松比測(cè)試

3D/4D 楊氏模量/硬度mapping

•考慮到靈活性，iNano允許進(jìn)行廣泛的測(cè)試，包括但不限于頻率特定實(shí)驗(yàn)，存儲(chǔ)和損耗模量，模量和硬度（Oliver和Pharr）以及恒定應(yīng)變率。

•電磁執(zhí)行器用于Nanomechanics生產(chǎn)的所有系統(tǒng)，包括iNano。 這些執(zhí)行器是堅(jiān)固的線性裝置，固有地解耦力和位移。 它們的大力為50 mN，分辨率為3 nN，超低噪聲電流小于200 nN。

•iNano是時(shí)間常數(shù)為20微秒的商用納米壓痕儀，可同時(shí)滿足大壓痕行程50μm，噪聲<0.1 nm，數(shù)字分辨率0.02 nm，漂移率<0.05nm / s的規(guī)格要求。

•為確保業(yè)內(nèi)廣泛，可靠的數(shù)據(jù)，iNano能夠?qū)崿F(xiàn)0.1 Hz至1 kHz的動(dòng)態(tài)激勵(lì)頻率。

•樣品臺(tái)移動(dòng)Z軸為25 mm，X為100 mm，Y軸為150 mm，可測(cè)試各種樣品高度和大樣品區(qū)。

•載荷框架剛度> 1,000,000 N / m

•Jian端校準(zhǔn)系統(tǒng)集成到軟件中，可實(shí)現(xiàn)快速，準(zhǔn)確和自動(dòng)的Jian端校準(zhǔn)。

•可用的方法包含聚合物，薄膜和生物材料的提示，方法和標(biāo)準(zhǔn)

•可用劃痕選項(xiàng)，大正常載荷為50 mN，大劃痕距離為2.5 mm，大劃痕速度為500μm/ s。

•可用的遠(yuǎn)程視頻選件在iNano腔內(nèi)提供兩個(gè)不同的視角，除標(biāo)準(zhǔn)顯微鏡物鏡外還配有USB攝像頭。

使用可選的NanoBlitz拓?fù)浜蛿鄬訏呙柢浖?duì)材料進(jìn)行3D和4D映射。

iNano系統(tǒng)由具有電容傳感器的電磁傳感器提供動(dòng)力，可對(duì)各種材料進(jìn)行精確測(cè)量。該系統(tǒng)旨在提供高吞吐量和輕松的數(shù)據(jù)分析。iNano帶有多種標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試協(xié)議，用戶可以輕松對(duì)其進(jìn)行編程以進(jìn)行新穎的測(cè)量。iNano設(shè)計(jì)產(chǎn)生的校準(zhǔn)多年穩(wěn)定，因此來(lái)自多個(gè)站點(diǎn)的多個(gè)儀器的測(cè)量數(shù)據(jù)保持一致。該系統(tǒng)占地面積小，可節(jié)省實(shí)驗(yàn)室空間，并符合ISO 14577以確保數(shù)據(jù)完整性。

除了能夠在大學(xué)，實(shí)驗(yàn)室和研究所進(jìn)行先進(jìn)的研究外，還可以對(duì)以下材料和行業(yè)進(jìn)行納米壓痕測(cè)量：

? 制造質(zhì)量控制

? 半導(dǎo)體晶圓和封裝

? 聚合物和塑料

? MEMS /納米級(jí)設(shè)備

? 陶瓷和玻璃

? 金屬和合金

? 醫(yī)藥品

? 涂料和油漆

? 電池和能量存儲(chǔ)

聚合物動(dòng)態(tài)彈性性能的測(cè)試

描述像聚合物這樣的粘彈性材料是阻尼和振動(dòng)控制應(yīng)用的關(guān)鍵。 納米力學(xué)公司的核心技術(shù)可以將聚合物的動(dòng)態(tài)量表征為應(yīng)用頻率的函數(shù)。此外，該測(cè)試可以在生產(chǎn)的零件上完成，并且不需要傳統(tǒng)DMA測(cè)試設(shè)備的大體積和特定幾何狀。

Dynamic Mechanical Analysis（DMA）of Polymers by Oscillatory Indention

脆性材料的壓痕斷裂韌性

脆性材料中抗裂紋擴(kuò)展性的機(jī)械性能稱(chēng)為“斷裂韌性”。 傳統(tǒng)上，由于樣品制備測(cè)量該性質(zhì)可能是耗時(shí)且昂貴的。使用立方角壓頭幾何形狀的壓痕測(cè)試，通過(guò)提供快速結(jié)果和大數(shù)據(jù)集來(lái)增強(qiáng)統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，從而有助于測(cè)量裂縫。 此外，壓痕可以提供關(guān)于裂紋初始載荷的信息，可用于比較不同的材料加工條件。 該技術(shù)也可以應(yīng)用于硬涂層，因其沒(méi)有標(biāo)準(zhǔn)的斷裂韌性幾何形狀。

高溫測(cè)試壓頭的Jian端材料
Nanomechanics在鉬支架上提供單晶碳化鎢Jian端，用于高溫測(cè)試應(yīng)用。 這些Jian端的額定溫度超過(guò)1000°C，可提供各種Jian端幾何形狀。這些Jian端還具有高導(dǎo)電性，因此適用于原位和環(huán)境實(shí)驗(yàn)。

聚合物的應(yīng)變率靈敏度
聚合物的彈性形變通常表現(xiàn)出時(shí)間依賴(lài)性。此外，聚合物通常具有隨時(shí)間變化的塑性變形，即蠕變。 納米力學(xué)公司的儀器*通過(guò)應(yīng)用應(yīng)變率和測(cè)量施加的壓力來(lái)表征聚合物和其他材料的蠕變。 這些測(cè)試的信息對(duì)塑料加工中的成形性和擠出過(guò)程非常有用。

連續(xù)剛度測(cè)量(CSM)

? 在壓痕周期內(nèi)測(cè)量剛度和其他材料性能CSM選項(xiàng)包括在壓入過(guò)程中使探頭振蕩，測(cè)量結(jié)果表征為深度，力，時(shí)間或頻率的函數(shù)。該選件隨附一個(gè)恒定應(yīng)變率實(shí)驗(yàn)，該實(shí)驗(yàn)測(cè)量硬度和模量隨深度或載荷的變化，這是整個(gè)學(xué)術(shù)界和工業(yè)界常用的測(cè)試方法。

NanoBlitz 3D快速機(jī)械性能映射

? 快速定量地繪制表面機(jī)械性能

? 由于增加了觀察數(shù)，因此提供了具有統(tǒng)計(jì)意義的結(jié)果

? 測(cè)量粗糙表面和/或異質(zhì)材料

NanoBlitz 3D選件根據(jù)x-y位置測(cè)量彈性模量和硬度，在短時(shí)間內(nèi)生成數(shù)千個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)。定量數(shù)據(jù)與強(qiáng)大的可視化技術(shù)相結(jié)合，以評(píng)估微觀結(jié)構(gòu)和機(jī)械性能梯度的差異。

國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化的納米壓痕測(cè)試 iNano高精度臺(tái)式納米壓痕儀符合國(guó)際認(rèn)可的納米壓痕機(jī)械測(cè)試ISO 14577標(biāo)準(zhǔn)。

ISO 14577標(biāo)準(zhǔn)化硬度和彈性模量測(cè)試

來(lái)自Nanomechanics的iNano和iMicro納米壓痕儀符合ISO 14577標(biāo)準(zhǔn)化硬度測(cè)試。  作為參考，一些測(cè)量的壓痕彈性模量對(duì)照?qǐng)D中右側(cè)彈性模量的傳統(tǒng)測(cè)量值繪制，適用于從聚合物到金屬到剛性陶瓷的各種材料。

生物相容性材料的復(fù)合剪切模量

本應(yīng)用說(shuō)明演示了iNano納米壓痕儀如何用于測(cè)試生物材料，并解釋了此類(lèi)測(cè)試所需的特硬件，程序和分析。 可食用明膠用于該演示，因?yàn)樗哂信c組織相當(dāng)?shù)男再|(zhì)，可容易獲取并且制備方法是可控和可重復(fù)的。

循環(huán)壓痕測(cè)試

除了作為深度函數(shù)的屬性的動(dòng)態(tài)測(cè)量之外，Nanomechanics還提供執(zhí)行循環(huán)壓痕測(cè)試的能力。 我們的優(yōu)勢(shì)是速度，精度和準(zhǔn)確性。 圖中所示的每個(gè)加載 - 卸載循環(huán)在4秒內(nèi)完成，從而有效地測(cè)量彈性模量和硬度。

微球的納米力學(xué)測(cè)試：顆粒壓碎應(yīng)用

微球在現(xiàn)代生活中有著無(wú)數(shù)的用途。 中空微球用于降低制造材料的密度。 在現(xiàn)代液相色譜中，分析物被迫通過(guò)填充有玻璃微球的柱，從而使分析物的組分基于它們可以通過(guò)柱的速度而分離。 在電子封裝中，金屬化聚合物微球被包裝在一起以形成靈活，可靠的連接。 在這項(xiàng)工作中測(cè)試的玻璃微球被摻入油漆中以增強(qiáng)外觀和耐擦傷性。 在所有這些應(yīng)用中，了解微球的機(jī)械性質(zhì)是設(shè)計(jì)的關(guān)鍵方面。 通過(guò)硬件和測(cè)程序的相對(duì)較小的變化，InForce 50成為一般的小型壓縮測(cè)試系統(tǒng)。

薄膜：基板立彈性模量測(cè)量

了解薄膜的機(jī)械性能對(duì)于設(shè)計(jì)可靠的部件非常重要。 無(wú)論您是在硬質(zhì)基材上使用軟膜，還是在柔性基材上使用硬膜，Nanomechanics都擁有使用壓痕測(cè)試，表征基材立彈性模量的測(cè)試方法。 此外，我們通過(guò)提供低于20nm厚度的數(shù)據(jù)在某些情況下小于10nm，推動(dòng)薄膜測(cè)試的極限。

薄膜：基板立彈性模量測(cè)量

了解薄膜的機(jī)械性能對(duì)于設(shè)計(jì)可靠的部件非常重要。 無(wú)論您是在硬質(zhì)基材上使用軟膜，還是在柔性基材上使用硬膜，Nanomechanics都擁有使用壓痕測(cè)試，表征基材立彈性模量的測(cè)試方法。 此外，我們通過(guò)提供低于20nm厚度的數(shù)據(jù)在某些情況下小于10nm，推動(dòng)薄膜測(cè)試的極限。

AccuFilm™薄膜方案

? 通過(guò)校正基材對(duì)測(cè)量的影響，可以表征超薄膜AccuFilm薄膜方法選件是一種測(cè)試方法包，帶有專(zhuān)用壓頭，用于使用CS模塊測(cè)量與基材無(wú)關(guān)的材料特性。AccuFilm使用Hay-Crawford模型校正基材的影響，以測(cè)量軟基材上的硬膜或硬基材上的軟膜。

劃痕和磨損測(cè)試方法

? 當(dāng)壓頭在樣品表面上移動(dòng)時(shí)，向壓頭施加恒定或傾斜的載荷涂層和薄膜要經(jīng)歷許多挑戰(zhàn)薄膜強(qiáng)度及其與基材粘合性的過(guò)程，例如化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）和引線鍵合。劃痕測(cè)試允許表征多種材料，例如薄膜，脆性陶瓷和聚合物。

ProbeDMA™局部動(dòng)態(tài)力學(xué)分析

? 對(duì)具有不適合標(biāo)準(zhǔn)DMA測(cè)試的樣品幾何形狀和/或材料體積的軟聚合物和其他材料進(jìn)行動(dòng)態(tài)機(jī)械分析（DMA）ProbeDMA選件通過(guò)測(cè)量存儲(chǔ)模量，損耗模量和損耗因子隨頻率的變化，將納米壓頭轉(zhuǎn)變?yōu)榫植縿?dòng)態(tài)力學(xué)分析儀器。ProbeDMA利用CSM模塊和iNano執(zhí)行器的精度來(lái)提供與傳統(tǒng)DMA測(cè)試相匹配的定量結(jié)果。它與300°C的樣品加熱選項(xiàng)*兼容，如下所述：

300°C 樣品加熱300°C樣品加熱選件允許將樣品放置在室內(nèi)進(jìn)行均勻加熱，同時(shí)進(jìn)行測(cè)試。

更好的理解水平

iNano提供的總的客戶體驗(yàn)不只是規(guī)格列表。 對(duì)于易于使用的軟件和可靠的硬件，以提供行業(yè)頂尖的客戶服務(wù)和正常運(yùn)行時(shí)間，iNano提供了強(qiáng)大，直接，無(wú)憂的解決方案。