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日本Kosaka輪廓儀(臺(tái)階儀)ET4000是Kosaka公司推出的全自動(dòng)接觸式微細(xì)形狀測定儀,具有高精確性、穩(wěn)定性和重復(fù)性,可測量FPD、晶片、磁盤,和與納米材料相關(guān)物件的表面特性、臺(tái)階高度和粗糙度等。
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,地礦,電子,航天 |
日本Kosaka輪廓儀(臺(tái)階儀)
日本Kosaka株式會(huì)社于1950年成立,專業(yè)生產(chǎn)、開發(fā)和銷售各種精密測試儀器、液壓設(shè)備、自動(dòng)機(jī)械和包裝機(jī)械等產(chǎn)品。公司于1950年推出其*個(gè)產(chǎn)品,SD-1表面粗糙分析儀。從此,在隨后的五十多年,產(chǎn)品不斷完善和更新,Kosaka公司的精密分析儀器始終是行業(yè)里的者。
ET4000臺(tái)階儀介紹:
日本Kosaka輪廓儀(臺(tái)階儀)ET4000是Kosaka公司推出的全自動(dòng)接觸式微細(xì)形狀測定儀,具有高精確性、穩(wěn)定性和重復(fù)性,可測量FPD、晶片、磁盤,和與納米材料相關(guān)物件的表面特性、臺(tái)階高度和粗糙度等。堅(jiān)固的花崗巖材料鑄成的機(jī)身框架以及支撐部件顯著提高了儀器的重復(fù)精度,并降低了地板噪音對(duì)測量的干擾。ET4000為滿足用戶不同應(yīng)用方向的需要提供了多種可選配置,通過選配三維成像附件套裝還可以*地?cái)U(kuò)充儀器的功能。
日本Kosaka輪廓儀(臺(tái)階儀)主要參數(shù):
zui大樣品尺寸 | 210x210mm;300x400mm |
重復(fù)性 | 1σ0.5nm |
測量范圍 | Z:100μm ;X:100nm;Y:150-400mm |
分辨率 | Z:0.1nm;X:0.01μm |
觸針力 | 0.5μN(yùn)-500μN(yùn) |
儀器特點(diǎn):
l 具有的臺(tái)階高度重復(fù)性5? (1σ)和線性度(垂直線性度:200nm以上為±0.25%;200nm以下為0.5nm)。
l 高分辨率,縱軸zui大分辨率為0.1nm,橫軸為0.01μm,可精確測量納米級(jí)至幾百微米級(jí)臺(tái)階高度。
l 超高直線度: 0.005μm/5mm,可測定微細(xì)表面形狀、段差、平面度、粗度、應(yīng)力分析等。
l 低測定力:采用直動(dòng)力LVDT檢出器,觸針力在0.5μN(yùn)~500μN(yùn)范圍可以任意調(diào)節(jié),可測定軟質(zhì)材料。
特點(diǎn):?
出色的臺(tái)階再現(xiàn)性與線性度。?
超高真直度,可確保量測圖形不受任何影響,并可在保證真直度的前提下長距離量測。?
采用超低噪音直動(dòng)式 LVDT,超低測定力的觸針可任意調(diào)節(jié)。?
配備高分辨率的 CCD 即時(shí)進(jìn)行高精度定位測量。?
可對(duì)應(yīng)各種國際規(guī)范,測定參數(shù)多達(dá) 60 多種。?
適用于各種與納米材料有關(guān)的 MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等。