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日本Kosaka輪廓儀(臺(tái)階儀)

產(chǎn)品簡介

日本Kosaka輪廓儀(臺(tái)階儀)ET4000是Kosaka公司推出的全自動(dòng)接觸式微細(xì)形狀測定儀,具有高精確性、穩(wěn)定性和重復(fù)性,可測量FPD、晶片、磁盤,和與納米材料相關(guān)物件的表面特性、臺(tái)階高度和粗糙度等。

產(chǎn)品型號(hào):ET4000
更新時(shí)間:2024-06-17
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:3072

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日本Kosaka輪廓儀(臺(tái)階儀)

日本Kosaka株式會(huì)社于1950年成立,專業(yè)生產(chǎn)、開發(fā)和銷售各種精密測試儀器、液壓設(shè)備、自動(dòng)機(jī)械和包裝機(jī)械等產(chǎn)品。公司于1950年推出其*個(gè)產(chǎn)品,SD-1表面粗糙分析儀。從此,在隨后的五十多年,產(chǎn)品不斷完善和更新,Kosaka公司的精密分析儀器始終是行業(yè)里的者。


ET4000臺(tái)階儀介紹:


     日本Kosaka輪廓儀(臺(tái)階儀)ET4000Kosaka公司推出的全自動(dòng)接觸式微細(xì)形狀測定儀,具有高精確性、穩(wěn)定性和重復(fù)性,可測量FPD、晶片、磁盤,和與納米材料相關(guān)物件的表面特性、臺(tái)階高度和粗糙度等。堅(jiān)固的花崗巖材料鑄成的機(jī)身框架以及支撐部件顯著提高了儀器的重復(fù)精度,并降低了地板噪音對(duì)測量的干擾。ET4000為滿足用戶不同應(yīng)用方向的需要提供了多種可選配置,通過選配三維成像附件套裝還可以*地?cái)U(kuò)充儀器的功能。


日本Kosaka輪廓儀(臺(tái)階儀)主要參數(shù):

zui大樣品尺寸

210x210mm;300x400mm

重復(fù)性

1σ0.5nm

測量范圍

Z100μm ;X100nm;Y150-400mm

分辨率

Z0.1nm;X0.01μm

觸針力

0.5μN(yùn)-500μN(yùn)


儀器特點(diǎn):

l 具有的臺(tái)階高度重復(fù)性5? (1σ)和線性度(垂直線性度:200nm以上為±0.25%200nm以下為0.5nm)。

l 高分辨率,縱軸zui大分辨率為0.1nm,橫軸為0.01μm,可精確測量納米級(jí)至幾百微米級(jí)臺(tái)階高度。

l 超高直線度: 0.005μm/5mm,可測定微細(xì)表面形狀、段差、平面度、粗度、應(yīng)力分析等。

l 低測定力:采用直動(dòng)力LVDT檢出器,觸針力在0.5μN(yùn)500μN(yùn)范圍可以任意調(diào)節(jié),可測定軟質(zhì)材料。

特點(diǎn):? 

出色的臺(tái)階再現(xiàn)性與線性度。? 

超高真直度,可確保量測圖形不受任何影響,并可在保證真直度的前提下長距離量測。? 

采用超低噪音直動(dòng)式 LVDT,超低測定力的觸針可任意調(diào)節(jié)。? 

配備高分辨率的 CCD 即時(shí)進(jìn)行高精度定位測量。? 

可對(duì)應(yīng)各種國際規(guī)范,測定參數(shù)多達(dá) 60 多種。? 

適用于各種與納米材料有關(guān)的 MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等。


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