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Product Center當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心石英/硅/聚合物模板高分辨率納米壓印模板(Mold for nanoimprint lithography)
高分辨率納米壓印模板(Mold for nanoimprint lithography)采用*制造工藝,可把平面納米壓印拓展到任意曲面。標(biāo)準(zhǔn)模板分為三類:Quartz Molds, Silicon Molds, Polymer Molds of 2“、3“、4“。適用于Obducat,Suss,HP,EVG等多種型號的納米壓印設(shè)備。
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相關(guān)文章高分辨率納米壓印模板(Mold for nanoimprint lithography)技術(shù)參數(shù):
Deliveryofnanoimprinttemplatesinvariousmaterials(Si,SiNx,SiC,quartz,glass).Maximumareaofthetemplates:4inchwithfeaturesizeof100nm.Forsmallerarea,minimumfeaturesizeof50nm.
提供各種材料的納米壓印模板(硅,氮化硅,碳化硅,石英玻璃)。模板zui大尺寸:4英寸,特征尺寸為100nm。對于更小的尺寸,zui小的特征尺寸可以達(dá)到50nm。
DeliveryofEBLserviceforvariousstructureswiththefeaturesizedownto30nm.Substrates:anyconductingornon-conductingwafers.
提供zui低30nm特征尺寸的各種結(jié)構(gòu)的電子束刻蝕服務(wù)。基板:任何導(dǎo)電或者非導(dǎo)電晶片。
MicroandnanofabricationsforallkindsofnanostructuresinaSi,III-V,II-VIandpolymers.
各種納米結(jié)構(gòu)(硅,III-V族元素,II-VI族元素以及聚合物)的微納米加工。
高分辨率納米壓印模板(Mold for nanoimprint lithography)主要特點(diǎn):
softmoldforthermalnanoimprint熱壓印的軟模板
quartzmoldforUVnanoimprint紫外壓印的石英模板
siliconmoldforthermalnanoimprint熱壓印的硅模板