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Product CenterFilmetrics R50 是KLA電阻測試家族的最新產品。R50方阻測試儀是KLA超45年電阻測量技術地位之作。電阻測量和監(jiān)控對于任何使用導電薄膜的行業(yè)都至關重要,從半導體制造到可穿戴技術所需的柔性電子產品。R50在金屬膜均勻性分布、離子摻雜和注入表征、薄膜厚度和電阻率分布、以及非接觸膜厚等量測均進行了優(yōu)化加強。
品牌 | 其他品牌 | 價格區(qū)間 | 面議 |
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檢測參數(shù) | 多參數(shù) | 儀器種類 | 臺式 |
應用領域 | 電子,航天,汽車,電氣,綜合 |
KLA薄膜電阻測量技術方阻測試儀包括接觸(4PP)和非接觸(EC)方法。
Filmetrics的R50系列方塊電阻測量儀器可測量沉積在各種基材上的導電片和薄膜,跨越10個數(shù)量級范圍電阻率,包括:
半導體晶圓基板
玻璃基板
塑料(柔性)基材
PCB圖案特征
太陽能電池
平板顯示層和圖案化特征
金屬箔
二、方阻測試儀主要功能
l 技術規(guī)格
測量范圍:5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq;
測量精度: +/- 1%;
重復度: 小于 0.2%;
樣品圖中無*的測量點位,自定義測量Recipe,可線性、矩形、
極坐標以及自定義等。
Model | Description |
R50-4PP | 四探針測試 自動XY移動臺-100mm*100mm 可實現(xiàn)直接100mm晶圓方塊電阻mapping測量 可放置直徑200mm晶圓樣品 |
R50-EC | 非接觸渦流測試 自動XY移動臺-100mm*100mm 可實現(xiàn)直接100mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測量 可放置直徑200mm晶圓樣品 |
R50-200-4PP | 四探針測試 自動XY移動臺-200mm*200mm 可實現(xiàn)直接200mm晶圓方塊電阻mapping測量 |
R50-200-EC | 非接觸渦流測試 自動XY移動臺-200mm*200mm 可實現(xiàn)直接200mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測量 |
三、應用
支持廣泛的測量,包括但不限于以下各項:
金屬膜厚度、基板厚度、方塊電阻、電阻率、電導率、摻雜濃度等。