產(chǎn)品中心
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從產(chǎn)品研發(fā)到質(zhì)量控制,該系統(tǒng)可以用于從超光滑鏡面到粗糙面的各種樣品進行表面微觀測量分析和粗糙度質(zhì)量評價。白光干涉原理。
品牌 | 其他品牌 | 價格區(qū)間 | 面議 |
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產(chǎn)品種類 | 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
應用領域 | 能源,電子,航天,汽車 |
三維測量輪廓儀
三維測量輪廓儀
三維表面微觀測量及粗糙度評定廣泛應用于精密加工、半導體加工、材料分析等領域
√ 亞納米級縱向分辨率,適合光滑表面測量分析
√ 簡單、精確、快速、可重復
√ 豐富的測量模式支持不同2D/3D測量需求
√ 表面三維粗糙度非接觸測量
√ 表面微觀三維結構測量
√ 膜厚測量與分析
√ 顯微反射光譜測量(選)
精密光學元件,微納加工器件,金屬機加工零件,晶圓等
√ 白光干涉顯微測量原理:采用白光光源,將非相干光干涉和高分辨率顯微成像技術相結形成微觀三維輪廓,采用不同測量倍率物鏡,縱向測量分辨率可達到亞納米量級
√ 顯微光譜測量:選配光譜模塊可以實現(xiàn)表面微區(qū)光譜測量和膜厚測量功能
實測案例