產(chǎn)品中心
Product Center當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心晶圓檢測
自由曲面三維面型檢測儀 自由曲面光學(xué)元件應(yīng)用于智能車載顯示、AR 顯示、手機(jī)鏡頭、激光顯示、照明、 光刻等前沿領(lǐng)域,自由曲面三維面型檢測儀,能夠非接觸測量光學(xué)鏡面元件的三維面型數(shù)據(jù),開展三維輪廓分析和三維誤差比對,并生成包含多項(xiàng)面型誤差指標(biāo)的測量報(bào)告。 從產(chǎn)品研發(fā)到生產(chǎn)過程及質(zhì)量控制,這款獨(dú)立的系統(tǒng)可用于開展光學(xué)設(shè)計(jì)、加工與檢測的前端研發(fā)設(shè)計(jì)過程、智能生產(chǎn)過程和后端質(zhì)量檢測過程。
具備三維翹曲(平整度)及薄膜應(yīng)力的檢測功能,適用于半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)、半導(dǎo)體制程工藝開發(fā)、玻璃及陶瓷晶圓生產(chǎn)
Strain Viewer 內(nèi)應(yīng)力檢測儀 具備化合物晶圓內(nèi)應(yīng)力分布測量及缺陷篩查等檢測功能