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產(chǎn)品中心晶圓檢測自由曲面三維面型檢測儀
產(chǎn)品簡介
自由曲面三維面型檢測儀自由曲面光學元件應用于智能車載顯示、AR 顯示、手機鏡頭、激光顯示、照明、 光刻等前沿領(lǐng)域，自由曲面三維面型檢測儀，能夠非接觸測量光學鏡面元件的三維面型數(shù)據(jù)，開展三維輪廓分析和三維誤差比對，并生成包含多項面型誤差指標的測量報告。從產(chǎn)品研發(fā)到生產(chǎn)過程及質(zhì)量控制，這款獨立的系統(tǒng)可用于開展光學設計、加工與檢測的前端研發(fā)設計過程、智能生產(chǎn)過程和后端質(zhì)量檢測過程。
| 品牌 | 其他品牌 |
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自由曲面三維面型檢測儀
優(yōu)勢
√ 對各種自由曲面光學元件的表面進行非接觸全口徑測量
√ 簡單、精確、快速、可重復的測量方式，表面無需噴粉處理
√ 自動完成數(shù)據(jù)比對分析誤差，完善的三維分析功能
測量功能
√ 三維面型數(shù)據(jù)測量
√ 面型逆向分析
√ 面型輪廓精度評價
適用對象
自由曲面反射鏡、曲面蓋板玻璃、精密模具、玻璃面板、透鏡、微透鏡陣列、 晶圓片等
測量原理
√ 結(jié)構(gòu)光反射三維重構(gòu)原理： 多相機拍攝經(jīng)被測鏡面反射的變形的結(jié)構(gòu)光圖案，通過重構(gòu)算法計算被測鏡面的三維面型，通過與理想面型數(shù)據(jù)進行比對，獲得自由曲面的面型誤差分布和其它分析數(shù)據(jù)
√ 采用優(yōu)化系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設計、高精度標定方法和先進的重構(gòu)算法實現(xiàn)高測量精度
從600mm口徑的大反射鏡，到1mm口徑的微透鏡陣列，自由曲面測量系統(tǒng)提供全面的面型測量能力。
測量分析軟件
具有豐富分析功能同時易用性強的三維測量分析軟件，包括： 三維輪廓誤差 PV、RMS、表面瑕疵、曲率、斜率、尺寸分析、各種多項式擬合、空間濾波和各類數(shù)據(jù)導出
自由曲面三維面型檢測儀
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