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產(chǎn)品中心

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高溫原位納米壓痕儀

產(chǎn)品簡介

InSEM HT高溫原位納米壓痕儀(高溫)通過在真空環(huán)境中單加熱jian端和樣品來測量高溫下的硬度、模量和硬度。INSEM®HT與掃描電子顯微鏡(SEM)和聚焦離子束(FIB)或立真空室兼容。附帶的InView軟件可以協(xié)助開發(fā)新的實(shí)驗(yàn)??茖W(xué)出版物表明,InSEM HT結(jié)果與傳統(tǒng)大型高溫試驗(yàn)數(shù)據(jù)吻合。廣泛的溫度范圍使InSEM HT成為開發(fā)研究材料的一個(gè)非常有價(jià)值的工具。

產(chǎn)品型號:In-SEM HT
更新時(shí)間:2024-06-17
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:1427
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品牌其他品牌價(jià)格區(qū)間面議
產(chǎn)地類別進(jìn)口儀器種類納米壓痕儀
應(yīng)用領(lǐng)域電子,航天,汽車,綜合

高溫原位納米壓痕儀主要功能:


連續(xù)剛度測量(CSM)


CSM技術(shù)包括在壓痕過程中測量力學(xué)性能隨深度、力、時(shí)間或頻率變化的函數(shù)。該方案采用恒定應(yīng)變速率試驗(yàn),測量硬度和模量作為深度或載荷的函數(shù),是學(xué)術(shù)界和工業(yè)界常用的試驗(yàn)方法。CSM還用于其他高級測試,包括用于存儲(chǔ)和損耗模量測量的ProbeDMA™方法和AccuFilm™基底立測量。CSM集成在控制器和InView軟件中,以保證數(shù)據(jù)質(zhì)量。


NanoBlitz3D


NanoBlitz 3D利用Inforce 50加載器采用玻氏壓頭測量高E(>3Gpa)材料的三維測量圖。NanoBlitz壓痕小于1個(gè)點(diǎn)/ s,可達(dá)10萬個(gè)壓痕(300x300陣列),并提供每個(gè)壓痕在載荷下的楊氏模量、硬度和剛度,大量的測試提高了統(tǒng)計(jì)的準(zhǔn)確性。NanoBlitz 3D還提供可視化軟件和數(shù)據(jù)處理功能。


AccuFilm™薄膜方法包


AccuFilm™薄膜方法包是一種基于Hay-Crawford模型的全新測試方法,使用連續(xù)剛度測量(CSM)測量基底材料的立特性。AccuFilm™修正了基底對軟基板上硬薄膜以及硬基底上軟薄膜測量的影響。


ProbeDMA™聚合物方法包


聚合物包可以測量聚合物的模量對頻率的函數(shù)。該測試包括平?jīng)_頭、粘彈性參考材料和評價(jià)粘彈性性能的試驗(yàn)方法。這種測量技術(shù)是表征納米聚合物和聚合物薄膜的關(guān)鍵技術(shù),而傳統(tǒng)的DMA測試儀器無法很好地測試這些薄膜。


劃痕磨損試驗(yàn)功能


劃痕試驗(yàn)在以規(guī)定速度穿過樣品表面時(shí),向壓頭施加恒定或傾斜載荷。劃痕試驗(yàn)可以表征許多材料系統(tǒng),如薄膜、易碎陶瓷和聚合物。


DataBurst


DataBurst集成InView軟件和InQuest控制器系統(tǒng),采用大于1kHz的速率記錄位移數(shù)據(jù),以測量高應(yīng)變跳躍載荷的突變實(shí)驗(yàn)。特別適用于瞬間斷裂、壓爆瞬間采集大量數(shù)據(jù)的測試實(shí)驗(yàn)。


Gemini 2D多軸傳感器


Gemini 2D 多軸技術(shù)將相同的標(biāo)準(zhǔn)壓痕功能帶到第二個(gè)橫軸上,同時(shí)沿兩個(gè)方向軸運(yùn)行。該專用技術(shù)有助于深入了解材料特性和失效機(jī)制,可以測量泊松比、摩擦系數(shù)、劃痕、磨損、剪切等參數(shù)。

高溫原位納米壓痕儀技術(shù)特點(diǎn):


KLA InSEM HT產(chǎn)品:先進(jìn)的激發(fā)器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),*實(shí)現(xiàn)載荷和位移的分別控制和探測,壓頭跟針尖分別加熱,實(shí)現(xiàn)高溫納米壓痕檢測,包括動(dòng)態(tài)力學(xué)測試、軟材料測試、及薄膜測試等等。


符合ISO14577的國際標(biāo)準(zhǔn)的壓痕測試


NanoFlip動(dòng)態(tài)測試附件是由連續(xù)剛度專用技術(shù)的發(fā)明人研發(fā)的:動(dòng)態(tài)力 學(xué)測試原理為在準(zhǔn)靜態(tài)加載過程中,施加在壓頭上一個(gè)正玄波,從而表征出隨著壓痕深度、載荷、時(shí)間或者頻率的變化材料力學(xué)性能的變化。


NanoBlitz3D技術(shù),提供每個(gè)壓痕在載荷下的楊氏模量、硬度和剛度,大量的測試提高了統(tǒng)計(jì)的準(zhǔn)確性,自動(dòng)生成楊氏模量、硬度和剛度Mapping圖,是研究非均相材料研究的重要方法。

硬度和模量測量(Oliver-Pharr)


InSEM HT納米壓痕測量各種材料的硬度和模量,從超軟凝膠到硬涂層。


連續(xù)剛度測試(CSM)


連續(xù)剛度測量用于量化動(dòng)態(tài)材料特性,如應(yīng)變率和頻率誘導(dǎo)效應(yīng)。InSEM HT納米壓頭提供從0.1Hz到1kHz的動(dòng)態(tài)頻率,根據(jù)深度或頻率連續(xù)測量接觸剛度。



高速材料性能Mapping(3D/4D)


對于復(fù)合材料,不同區(qū)域的力學(xué)性能差異很大。InSEM HT在X軸和Y軸上提供21mm的樣品臺移動(dòng),在Z軸上提供25mm的樣品臺移動(dòng),允許在樣品區(qū)域上測試大范圍高度變化的樣品。地形和斷層掃描軟件可以快速生成任何測量機(jī)械性能的彩色譜圖。




納米動(dòng)態(tài)力學(xué)分析


聚合物是非常復(fù)雜的材料。為了獲得聚合物的有用信息,應(yīng)在相關(guān)背景下對相關(guān)樣品進(jìn)行機(jī)械性能測量。納米壓痕測試使這種測量變得更容易,因?yàn)闃悠房梢院苄?,并且制備所需要的量少。納米壓痕系統(tǒng)可以通過振蕩壓頭與材料接觸的方式來測量聚合物的復(fù)合模量和粘彈性性能。




定量劃痕磨損測試


InSEM HT可以對各種材料進(jìn)行劃痕和磨損測試。涂層和薄膜要經(jīng)過許多加工過程,例如化學(xué)和機(jī)械拋光(CMP)和金屬絲粘合,以測試這些薄膜的強(qiáng)度和它們在基底上的粘附力。對于這些材料來說,在這些過程中抵抗塑性變形并保持完整而不起泡是非常重要的。



高溫試驗(yàn)


許多工業(yè)領(lǐng)域的材料研究不僅關(guān)注常溫下機(jī)械應(yīng)力的性能,而且還關(guān)注熱應(yīng)力下的性能。InSEM HT專為先進(jìn)技術(shù)應(yīng)用(如航空航天、汽車和軍事/國防)中的下一代材料測試而設(shè)計(jì)。




蠕變測量


由于施加的載荷和高溫,材料會(huì)發(fā)生變形。蠕變是機(jī)械應(yīng)力和熱應(yīng)力共同作用下的應(yīng)變超時(shí)測量,蠕變行為對汽車和航空航天系統(tǒng)的有效設(shè)計(jì)至關(guān)重要。嵌入式熱處理可使溫度升高至800°C,同時(shí)監(jiān)測材料應(yīng)變。



應(yīng)變率靈敏度


應(yīng)變率靈敏度使應(yīng)變量化成為各種加載條件的函數(shù)。例如,如果樣品受到的應(yīng)力更慢,在短時(shí)間內(nèi)對材料施加機(jī)械/熱應(yīng)力可能會(huì)產(chǎn)生不同的應(yīng)變結(jié)果。InSEM HT允許用戶測量達(dá)800°C的加載條件下的應(yīng)變靈敏度。


  

相關(guān)文獻(xiàn)  

1.StrainRateSensitivityofThinMetalFilmsbyInstrumentedIndentation  

2.E?ectofAnnealingon50nmGoldFilms



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